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石墨舟承载车

 

功能介绍:
能准确的把石墨舟从PECVD中取出来能平稳的把石墨舟在小车上旋转180度,倾斜翻转, 确保简易方便的装硅片。承载装片车能够与PECVD准确的定位。

主要特点:
采用不锈钢和铝型材采用可调式油压缓冲器,减少冲击,定位平稳。


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